半导体和真空产品业务发展经理沙工表示,“这些产品代表了磁性轴承技术的重大进步”,“MB240的灵活设计融入了最新的信号处理创新,Hyperspin主轴使用标准化零件提供定制的解决方案,并可在客户紧迫的截止日期前提供”。
磁性轴承通过对轴承固定和旋转部件中的铁磁材料施加可控电流来运行,由于部件之间没有接触,磁性轴承不需要润滑,在运行过程中磨损最小,能够以极高的转速运行,数字控制系统不断接收来自轴承传感器的反馈,并通过调节电流来精确调整轴承位置。
MB240是一个2安培、40瓦的系统,用于控制小型磁性轴承装置,与其他Revolve数字控制器一样,MB240具有自适应振动控制(AVC)功能,可抑制转子或外壳振动,提高应用精度,这一特点为MB240配备了用于半导体晶片生产的涡轮分子泵,该控制器也可用于氢循环器和其他高旋转或高真空应用。
Hyperspin主轴是一种磁性轴承装置,将径向轴承和推力轴承、壳体、轴、电机和控制器集成到一个完整的组件中,它们具有多功能的轴接口,几乎可以容纳任何类型的有效载荷,并有各种尺寸、速度和额定功率,同步主轴的转速高达60000转/分,额定功率高达900瓦,异步主轴可提供高达50000转/分和55千瓦的转速。
旋转磁性轴承股份有限公司是世界上最大的轴承和配件制造商SKF的业务部门,该公司设计、制造和供应全方位的磁性轴承解决方案,包括径向和推力磁性轴承、Hyperspin主轴组件、数字控制系统、MBScope监测和分析软件、直流无刷电机和辅助轴承,这些产品应用于半导体制造设备、氢气循环器、气体管道压缩机、制冷压缩机、低温设备、制药机械以及真空和分析设备等。